Composition determination of β-(AlxGa1−x)2O3layers coherently grown on (010) β-Ga2O3substrates by high-resolution X-ray diffraction
((010) beta-Ga2O3基板上にコヒレント成長したbeta-(AlxGa1-x)2O3薄膜の高分解能XRDによる組成決定)
著者 | Yuichi Oshima, Elaheh Ahmadi, Stefan C. Badescu, Feng Wu, James S. Speck. |
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掲載誌名 | Applied Physics Express 9 [6] 061102 ISSN: 18820786, 09538984, 18820778 ESIでのカテゴリ: PHYSICS |
出版社 | Japan Society of Applied Physics |
発表年 | 2016 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.7567/apex.9.061102 |
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