Crystallographic HCl gas etching for fabrication of β-Ga2O3/air-gap structures on (100) substrates
The 8th U.S. Workshop on Gallium Oxide. 2025年08月04日-2025年08月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-08-21 03:12:23 +0900 更新時刻: 2025-08-21 03:12:23 +0900