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(-102) β-Ga2O3への大気圧下での窒素希釈水素ガスエッチング

大島 孝仁, 富樫 理恵, 大島 祐一.
2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024.

NIMS著者


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    作成時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900更新時刻: 2024-03-28 09:53:40 +0900

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