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HCl支援ハライド気相成長法を用いたβ-Ga2O3の選択成長

2022年 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022.

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    作成時刻: 2022-09-23 03:19:45 +0900更新時刻: 2023-01-05 16:06:01 +0900

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