HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 結晶膜、結晶膜を含む半導体装置、及び結晶膜の製造方法2022-04-01. WO2021044845 (Google Patents) CNN114270531A (Google Patents) US20220189769 (Google Patents) NIMS著者大島 祐一作成時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900