多段ELOによるα型酸化ガリウム結晶の貫通転位密度の低減
(Reduce of the Threading Dislocation Density of a-Ga2O3 by Multi-layered ELO)
| 著者 | 河原 克明, 大島 祐一, 沖川 満, 四戸 孝, 人羅 俊実. |
|---|---|
| 会議名 | 第80回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 発表年 | 2019 |
| 言語 | Japanese |