HVPEによるα-Ga2O3のGeドーピング
(Ge doping of α-Ga2O3 by Halide Vapor Phase Epitaxy)
| 著者 | 大島 祐一, 河原克明, 嘉数誠, 四戸孝, 人羅俊実. |
|---|---|
| 会議名 | 60th Electronic Materials Conference (EMC) |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |
| 著者 | 大島 祐一, 河原克明, 嘉数誠, 四戸孝, 人羅俊実. |
|---|---|
| 会議名 | 60th Electronic Materials Conference (EMC) |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |