HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Near-vertical non-plasma HCl gas etching on (011) β-Ga2O3OSHIMA, Takayoshi, OSHIMA, Yuichi. The 8th U.S. Gallium Oxide Workshop (GOX 2025). 2025年08月04日-2025年08月06日.NIMS著者大島 孝仁大島 祐一Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2025-08-21 03:12:23 +0900 更新時刻: 2025-08-21 03:12:23 +0900