Hydride Vapor Phase Epitaxy and characterization of High-Quality ScN epilayers
(HVPE法によるScNの成長と評価)
| 著者 | OSHIMA, Yuichi, VILLORA, Garcia, SHIMAMURA, Kiyoshi. |
|---|---|
| 会議名 | International Workshop on Nitride semiconductors 2014 |
| 発表年 | 2014 |
| 言語 | English |