HOME > 口頭発表 > 書誌詳細HCl-based halide vapor phase epitaxy and HCl gas etching on (-112) β-Ga2O3 substratesOSHIMA, Takayoshi, OSHIMA, Yuichi. The 6th International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials (IWGO 2026). 2026年08月02日-2026年08月07日.NIMS著者大島 孝仁大島 祐一Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2026-08-19 03:12:15 +0900 更新時刻: 2026-08-19 03:12:15 +0900