HVPEによるα-Ga2O3の選択横方向成長
(Epitaxial Lateral Overgrowth of α-Ga2O3 by Halide Vapor Phase Epitaxy)
| 著者 | 大島 祐一, 神野莉衣奈, 河原克明, 四戸孝, 人羅俊実, 嘉数誠, 藤田静雄. |
|---|---|
| 会議名 | 第65回応用物理学会春季学術講演会 |
| 発表年 | 2018 |
| 言語 | Japanese |