HVPEによるα-Ga2O3の選択横方向成長
(Epitaxial Lateral Overgrowth of α-Ga2O3 by Halide Vapor Phase Epitaxy)
第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018.
NIMS著者
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作成時刻: 2018-01-19 22:07:49 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:17:25 +0900