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Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy

著者Yuichi Oshima, Encarnación G. Víllora, Yoshitaka Matsushita, Satoshi Yamamoto, Kiyoshi Shimamura.
掲載誌名Journal of Applied Physics 118 [8] 085301
ISSN: 00218979, 10897550
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年2015
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.4929417
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