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Epitaxial lateral overgrowth of <i>r</i>-plane α-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> with stripe masks along ⟨1¯21¯0⟩
(<-12-10>ストライプマスクを用いたr面α-Ga2O3の選択横方向成長)

著者Yuichi Oshima, Shingo Yagyu, Takashi Shinohe.
掲載誌名Journal of Applied Physics 130 [17] 175304
ISSN: 00218979, 10897550
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年2021
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/5.0068097
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