Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along ⟨1¯21¯0⟩
(<-12-10>ストライプマスクを用いたr面α-Ga2O3の選択横方向成長)

著者	Yuichi Oshima, Shingo Yagyu, Takashi Shinohe.
掲載誌名	Journal of Applied Physics 130 [17] 175304 ISSN: 00218979, 10897550 ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社	AIP Publishing
発表年	2021
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1063/5.0068097
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