Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
(HVPE法によるα-Ga2O3のELO)
著者 | Y. Oshima, K. Kawara, T. Shinohe, T. Hitora, M. Kasu, S. Fujita. |
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掲載誌名 | APL Materials 7 [2] 022503 ISSN: 2166532X ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE |
出版社 | AIP Publishing |
発表年 | 2019 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1063/1.5051058 |
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