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Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
(HVPE法によるα-Ga2O3のELO)

著者Y. Oshima, K. Kawara, T. Shinohe, T. Hitora, M. Kasu, S. Fujita.
掲載誌名APL Materials 7 [2] 022503
ISSN: 2166532X
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社AIP Publishing
発表年2019
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.5051058
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