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GaN正ベベル終端形成のための選択成長結晶に対する逆テーパーエッチングの提案

2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会. 2024.

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    作成時刻: 2024-03-28 09:53:41 +0900更新時刻: 2024-03-28 09:53:41 +0900

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