(−102)面β-Ga2O3基板に対する選択成長と選択エッチング
(Selective area growth and selective area etching of (−102) β-Ga2O3 substrates)
第84回応用物理学会 秋季学術講演会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-09-26 03:16:26 +0900更新時刻: 2023-09-26 03:16:26 +0900