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(001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング

2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.

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    作成時刻: 2023-03-21 03:32:50 +0900更新時刻: 2023-03-21 03:32:50 +0900

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