HOME > 口頭発表 > 書誌詳細(001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング大島 孝仁, 大島 祐一. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023.NIMS著者大島 孝仁大島 祐一Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2023-03-21 03:32:50 +0900 更新時刻 :2023-03-21 03:32:50 +0900