HOME > Presentation > Detail(001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング大島 孝仁, 大島 祐一. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023.NIMS author(s)OSHIMA, TakayoshiOSHIMA, YuichiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2023-03-21 03:32:50 +0900 Updated at :2023-03-21 03:32:50 +0900