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デバイス応用に向けたα-Ga2O3二重ELO膜の平坦化
(Planarization in double-layered ELO α-Ga2O3 films for the device fabrication)

著者河原克明, 大島 祐一, 沖川満, 四戸孝.
会議名第81回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2020
言語Japanese

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