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デバイス応用に向けたα-Ga2O3二重ELO膜の平坦化
(Planarization in double-layered ELO α-Ga2O3 films for the device fabrication)

河原克明, 大島 祐一, 沖川満, 四戸孝.
第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020.

NIMS著者


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    作成時刻 :2020-09-10 03:00:20 +0900 更新時刻 :2020-09-10 03:00:20 +0900

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