デバイス応用に向けたα-Ga2O3二重ELO膜の平坦化
(Planarization in double-layered ELO α-Ga2O3 films for the device fabrication)
| 著者 | 河原克明, 大島 祐一, 沖川満, 四戸孝. |
|---|---|
| 会議名 | 第81回応用物理学会秋季学術講演会 |
| 発表年 | 2020 |
| 言語 | Japanese |