(001)面β-Ga2O3 基板上のβ-Ga2O3/エアギャップ構造作製
(Fabrication of β-Ga2O3/air-gap structures on (001) β-Ga2O3 substrates)
第86回応用物理学会 秋季学術講演会. 2025年09月07日-2025年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-09-12 03:12:40 +0900 更新時刻: 2025-09-12 03:12:40 +0900