HOME > 口頭発表 > 書誌詳細(011)近傍面方位β-Ga2O3上のHCl系ハライド気相成長とHClガスエッチング大島 孝仁, 大島 祐一. 2026年 第73回応用物理学会春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.NIMS著者大島 孝仁大島 祐一Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2026-03-19 03:08:10 +0900 更新時刻: 2026-03-19 03:08:10 +0900