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(011)近傍面方位β-Ga2O3上のHCl系ハライド気相成長とHClガスエッチング
2026年 第73回応用物理学会春季学術講演会. March 15, 2026-March 18, 2026.
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Created at: 2026-03-19 03:08:10 +0900 Updated at: 2026-03-19 03:08:10 +0900