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Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
( α-Ga2O3における貫通転位のHClガスエッチによる可視化)

著者Yuichi Oshima, Shingo Yagyu, Takashi Shinohe.
掲載誌名Journal of Crystal Growth 576 126387
ISSN: 00220248
ESIでのカテゴリ: CHEMISTRY
出版社Elsevier BV
発表年2021
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2021.126387
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