Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
( α-Ga2O3における貫通転位のHClガスエッチによる可視化)
NIMS著者
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作成時刻: 2021-11-02 03:35:32 +0900更新時刻: 2024-03-31 13:24:26 +0900