Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers by maskless method
Compound Semiconductor Week 2023 (CSW2023). 2023年05月29日-2023年06月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-06-09 09:58:03 +0900 更新時刻: 2023-06-09 09:58:03 +0900