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Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers by maskless method

OSHIMA, Yuichi, 安藤 裕之, 四戸 孝.
Compound Semiconductor Week 2023 (CSW2023). 2023.

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    作成時刻: 2023-06-09 09:58:03 +0900更新時刻: 2023-06-09 09:58:03 +0900

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