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マスクレス手法によるα-Ga2O3の転位密度低減

大島 祐一, 安藤 裕之, 四戸 孝.
第70回応用物理学会 春季学術講演会. 2023.

NIMS著者


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    作成時刻: 2023-03-21 03:32:51 +0900更新時刻: 2023-03-21 03:32:51 +0900

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