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ハイドライド気相成長法による窒化スカンジウムの成長と評価
(Hydride Vapor Phase Epitaxy and characterization of ScN epilayers)

著者大島 祐一, ビジョラ ガルシア, 島村 清史.
会議名2014年電気化学会秋季大会
発表年2014
言語Japanese

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