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論文 TSV
2008
- 岡田 勝行. ダイヤモンドの合成(静的超高圧、衝撃波、気相合成). 無機材料必須300. (2008) 225-227
2007
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成と表面構造解析. 表面. 45 [9] (2007) 301-311
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノクリスタルダイヤモンド合成. マテリアルインテグレーション. 20 [2] (2007) 75-81
- Katsuyuki Okada. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. Science and Technology of Advanced Materials. 8 [7-8] (2007) 624-634 10.1016/j.stam.2007.08.008 Open Access
2006
- H. Yamamoto, S. Matsumoto, K. Okada, J. Yu, K. Hirakuri. Synthesis of c-BN films by using a low-pressure inductively coupled BF3-He-N2-H2 plasma. Diamond and Related Materials. 15 [9] (2006) 1357-1361 10.1016/j.diamond.2005.10.007
- Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Fractal growth mechanism of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted pulsed-laser chemical vapor deposition. The Journal of Chemical Physics. 125 [8] (2006) 084701 10.1063/1.2336201
- Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Fractal growth of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted laser chemical vapor deposition. Journal of Applied Physics. 99 [12] (2006) 123512 10.1063/1.2205612
- Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Boron nitride microfibers grown by plasma-assisted laser chemical vapor deposition without a metal catalyst. Applied Physics Letters. 88 [15] (2006) 151914 10.1063/1.2188381
2005
- 岡田 勝行, 石垣 隆正. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 金属. 75 [3] (2005) 201-205
- J. Yu, S. Matsumoto, K. Okada. Effects of rf bias and H2 flow rate on the growth of cubic boron nitride films by chemical vapor deposition. Applied Physics A. 80 [4] (2005) 777-781 10.1007/s00339-004-2744-5
2004
- Shojiro Komatsu, Akio Okudo, Daisuke Kazami, Dmitri Golberg, Yubao Li, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with very high current density at low . The Journal of Physical Chemistry B. 108 [17] (2004) 5182-5184 10.1021/jp0493475
- Shojiro Komatsu, Keiji Kurashima, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Condensation of sp3-bonded Boron Nitride through a Highly Nonequilibrium Fluid State. The Journal of Physical Chemistry B. 108 [1] (2004) 205-211 10.1021/jp0364452
2003
- Katsuyuki Okada, Shojiro Komatsu, Seiichiro Matsumoto. Ion energy distributions and the density of CH3 radicals in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma used for nanocrysta. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 21 [6] (2003) 1988-1992 10.1116/1.1621404
- Katsuyuki Okada, Koji Kimoto, Shojiro Komatsu, Seiichiro Matsumoto. Sp2 bondings distributions in nanocrystalline diamond particles by electron energy loss spectroscopy. Journal of Applied Physics. 93 [5] (2003) 3120-3122 10.1063/1.1544443
2002
- Shojiro Komatsu, Keiji Kurashima, Hisao Kanda, Katsuyuki Okada, Mamoru Mitomo, Yusuke Moriyoshi, Yoshiki Shimuzu, Masaharu Shiratani, Toshiki Nakano, Seiji Samukawa. Highly crystalline 5H-polytype of sp3-bonded boron nitride prepared by plasma-packets-assisted pulsed- laser deposition: a ultra. Applied Physics Letters. 81 [24] (2002) 4547-4549 10.1063/1.1527987
- Katsuyuki Okada, Shojiro Komatsu. Mass spectrometric studies of low pressure CH4, CH4/H2, and H2 plasma beams generated by an inductively coupled radio frequency . Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 20 [6] (2002) 1835 10.1116/1.1506171
- Shojiro Komatsu, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Katsuyuki Okada, Mamoru Mitomo. Preparation of boron nitride nanocapsules by plasma-assisted pulsed laser deposition. Journal of Applied Physics. 91 [9] (2002) 6181-6184 10.1063/1.1461889
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護. ナノ物質合成開発のためのプラズマ反応場支援レーザーアブレーション法. OYO BUTURI. 71 [4] (2002) 443-445
2001
- 小松正二郎, OKADA, Katsuyuki, 清水禎樹, 守吉佑介. A novel ion-molecular surface reaction to result in CH3 adsorbates on 111 surface of CVD diamond from ethane and ........ JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. (2001)
- 小松正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, OKADA, Katsuyuki, 三友護, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Mamoru Mitomo. Nanoparticles and nanoballoons of amorphous boron coated with crystalline boron nitride. Applied Physics Letters. 79 [2] (2001) 188-190 10.1063/1.1383059
- 小松正二郎, OKADA, Katsuyuki, 清水禎樹, 守吉佑介, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi. A Novel ion-molecular surface reaction to result in CH3 adsorbates on (111) surface of chemical vapor deposition diamond from et. Journal of Applied Physics. 89 [12] (2001) 8291-8296 10.1063/1.1369393
- OKADA, Katsuyuki, 木本浩司, KOMATSU, Shojiro, 松本精一郎, 木本浩司, 松本精一郎. Raman and EELS studies on nanocrystalline diamond prepared in a low pressure inductively coupled plasma. Mat. Res. Soc. Symp. Proc.. (2001)
- OKADA, Katsuyuki, AIZAWA, Takashi, SOUDA, Ryutaro, 小松正二郎, 松本精一郎, 松本精一郎. Vibrational studies of microcrystalline diamond and diamond-like carbon by high resolution electron energy loss spectroscopy. DIAMOND AND RELATED MATERIALS. 10 [0] (2001) 1991-1994
書籍 TSV
2003
- OKADA, Katsuyuki. Plasma chemical vapor deposition of nanocrystalline diamond. Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology. , 2003, 1-12.
会議録 TSV
2017
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2017. (2017) 283-285
2015
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
2013
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
2011
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-20. (2011) 9999
2010
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. Proceedings of SPP-27. (2010) 9999
2009
- OKADA, Katsuyuki. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. Proceedings of 1st South Africa COE-SM & NIMS Workshop. (2009) 1-2
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-19. (2009) 1-4
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2009. (2009) 115-118
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of PSS-2009/SPP-26. (2009) 210-211
2008
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. Proceedings of SPP-25. (2008) 317-318
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of Nanotech 2008. (2008) 4-7
2007
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISSP 2007. (2007) 153-155
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of SPP-24. (2007) 259-260
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ICPIG2007. (2007) 1566-1567
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISPC-18. (2007) 9999
2006
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Structural Analysis on Nanostructured Diamond/Carbon Prepared in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ICRP-6/SPP-23. (2006) 585-586
2005
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Study on Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISSP2005. (2005) 137-140
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics. Proceedings of PSS-2005/SPP-22. (2005) 153-154
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISPC-17. (2005) 1-5
2004
- KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its future Vision. (2004)
- KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of SPP-21. (2004) 320-321
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of the International Workshop on Plasma Nanotechnology. (2004)
- KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of ICNDST-9. (2004)
- KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of SPP-21. (2004) 30-31
- OKADA, Katsuyuki, KIMOTO, Koji, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Preparation of Nanocrystalline Diamond in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Transactions of the Materials Research Society of Japan. (2004) 3427-3430
- KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of ICNDST-9. (2004) 69-70
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of Inter. COE Forum Plasma Sci. Technol.. (2004) 159-160
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Characteristics of Low Pressure Inductively Coupled CH4/CO/H2 Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of SPP-21. (2004) 124-125
2003
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Characteristics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of The 7th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes (ISSP2003). (2003) 124-127
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Characteristics of Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISPC-16. (2003)
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Langmuir Probe Measurements in a Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Dep. Proceedings of ISAM-2003. (2003) 81-82
- 小松 正二郎, 神田 久生, 倉嶋 敬次, 桑野弘行, 守吉佑介, 岡田 勝行. プラズマパケット支援レーザーアブレーション法によるsp3結合性5H-BNの225nm室温紫外発光. SPP-20 proceedings. (2003) 83-84
- KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, KUWANO, Hiroyuki, 守吉佑介, OKADA, Katsuyuki. Vapor growth mechanism of BN nonequilibrium phases in plasma-packets assisted pulsed laser deposition. The 10th International Symposium on Advanced Materials(ISAM 2003). (2003) 77-78
- 小松 正二郎, 神田 久生, 倉嶋 敬次, 桑野 弘行, 守吉佑介, 岡田 勝行. プラズマパケット支援レーザー蒸着法によるsp3結合性5H-BNの225nmにおける紫外発光. The 10th International Symposium on Advanced Materials(ISAM 2003). (2003) 17-18
- KOMATSU, Shojiro, KUWANO, Hiroyuki, 守吉佑介, OKADA, Katsuyuki. Fine structures of reactive plasma packets. Proceedings of ISAM2003. (2003) 79-80
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 桑野弘行, 守吉佑介, 岡田 勝行. サブサーフェスの観点から見たレーザー・プラズマ複合化プロセスによるBN非平衡相の気相成長. SPP-20 proceedings. (2003) 43-44
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of broad-band frequency low pressure inductively coupled plasma with a Langmuir probe. Proceedings of SPP-20. (2003) 245-246
2002
- OKADA, Katsuyuki, 木本浩司, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. EELS studies on nanocrystalline diamond. Proceedings of ISAM2002. (2002) 61-62
- KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, 守吉佑介, 三友護. Free-rotating molecular joint based on the HOMO-LUMO interaction of halogenated hydrocarbon with an anionic vacant site on hydro. ISAM2002 proceedings. (2002) 65-66
- KOMATSU, Shojiro, 清水禎樹, 守吉佑介, OKADA, Katsuyuki, 三友護. Nanoparticles and nanoballoons of amorphous boron coated with crystalline boron nitride. ISAM2002 proceedings. (2002) 123-124
- KOMATSU, Shojiro, 寒川誠二, OKADA, Katsuyuki, 守吉佑介, 三友護. Plasma-surface chemistry in Si/Cl systems. ISAM2002 proceedings. (2002) 121-122
口頭発表 TSV
2019
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas(ICRP-10). 2019
2015
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2015
2013
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2013
2011
2010
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるカーボンナノチューブ 及びカーボンナノカプセルの合成 . 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会. 2010
- 岡田 勝行. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . DIAMOND 2010. 2010
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるカーボンナノチューブ及び カーボンナノカプセルの合成 . 第8回ナノ学会. 2010
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. 第27回プラズマプロセシング研究会(SPP-27). 2010
2009
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISPC-19. 2009
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISSP 2009. 2009
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマによるナノ構造ダイヤモンド・ダイヤモンド状炭素・カーボンナノチューブの合成. 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会. 2009
- OKADA, Katsuyuki. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. 1st South Africa COE-SM & NIMS Workshop. 2009 招待講演
2008
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Nanotech 2008. 2008
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDにより合成されたナノクリスタルダイヤモンドの粒子の表面構造解析. 第6回ナノ学会. 2008
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. 第25回プラズマプロセシング研究会. 2008
2007
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. ナノ構造カーボン合成用低圧誘導結合VHFプラズマの診断. 第68回応用物理学会学術講演会. 2007
- OKADA, Katsuyuki. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-18). 2007
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. 28th International Conference on Phenomena in Ionaized Gases. 2007
- OKADA, Katsuyuki. Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 9th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. 2007
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Electron energy distribution functions in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma used for nanocrystalline diamond deposition. International Conference on New Diamond and Nano Carbons. 2007
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/H2プラズマにおける非弾性過程. 第54回応用物理学関係連合講演会. 2007
- 小松 正二郎, 風見大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 岡田 勝行. 新機能性BN薄膜のレーザープラズマ・同期CVD. 5th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing. 2007 招待講演
- OKADA, Katsuyuki. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24). 2007
2006
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 16th International Toki Conference (ITC-16). 2006
- 田中 洋則, 小松 正二郎, 風見大介, 長田 貴弘, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマCVD法によるsp3-結合性5H-BNミクロコーンエミッターの低温成長. 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/H2プラズマの電子エネルギー分布関数. 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 第43回CVD研究会. 2006 招待講演
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎, ロバートカーピック. Electric Structure Study on Nanocrystalline Diamond Prepared by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. 22nd Symposium on Plasma Physics and Technology (SPPT-2006). 2006
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成. ナノ学会第4回大会. 2006
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BNミクロコーン形成の光強度依存性. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
- 田中 洋則, 小松 正二郎, 風見 大介, 守吉 佑介, 岡田 勝行. sp3-結合性5H-BN薄膜成長速度のphotoluminescenceによるその場測定. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎, ロバートカーピック. 低圧誘導結合プラズマCVDにより合成されたナノクリスタルダイヤモンドの電子構造評価. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
- 岡田 勝行. プラズマCVDの研究者から見たレーザーアブレーション研究への期待・要望. アブレーションプラズマに関する学理と応用の融合専門委員会. 2006 招待講演
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 岡田 勝行. プラズマ支援レーザーCVDによって合成されたsp3-結合性5H-BNミクロコーンエミッター. 第6回反応性プラズマ国際会議. 2006
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 知京 豊裕, 岡田 勝行. 共同現象としての電界電子放出:プラズマ支援レーザーCVD法によるsp3-結合性5H-BNミ. 第6回反応性プラズマ国際会議. 2006
- OKADA, Katsuyuki. Structural Analysis on Nanostructured Diamond/Carbon Prepared in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ICRP-6/SPP-23. 2006
2005
- 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 小松 正二郎, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の成長:モルフォロジーの観点から. 第16回日本MRS学術シンポジウム セッションH. 2005
- 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治. プラズマ支援レーザーCVDによるsp3結合性5H-BNのフラクタル成長. 第16回日本MRS学術シンポジュウム セッションH. 2005
- 田中 洋則, 風見 大介, 守吉 佑介, 小松 正二郎, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマCVD法によるBNナノファイバーの成長. 第16回日本MRS学術シンポジウム セッションH. 2005
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の光励起成長機構. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマCVD法によるBNナノファイバーの成長. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
- 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の成長:モルフォロジーの観点から. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-17). 2005
- 岡田 勝行. プラズマCVDの基礎と応用. 第12回プラズマエレクトロニクスサマースクール. 2005 招待講演
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Study on Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. The 8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processin. 2005
- 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 守吉 佑介. Novel sp3-bonded BN films of 5H-polytypic crystal structure prepared by laser-assisted plasma CVD and their excellent electron f. CIP 2005 15th International Colloquium on PLASMA PROCESSES. 2005
- 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 守吉 佑介. New type of BN films with excellent electron field emission properties prepared by plasma-assisted laser CVD. ICONO/LAT2005. 2005 招待講演
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 石垣 隆正. Growth of nanostructured diamond in a low pressure inductively coupled plasma and the plasma characteristics. ICNDST-10. 2005
- 岡田 勝行, 小松 正二郎. Growth and Characterization of Nanostructured Diamond and Diamond-Like Carbon in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. 2005 MRS Spring Meeting. 2005
- 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマ複合化CVDによるsp3-5H-BN電界電子エミッターフラクタル分布. 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005
- 小松 正二郎, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 田中 洋則, 知京 豊裕, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマCVDによるsp3結合性5H-BN電界電子放出型発光素子の試作と特性. 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics. PSS-2005/SPP-22. 2005
- 小松 正二郎, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. パルスレーザー支援プラズマCVD法によるsp3-結合性5H-BN薄膜における電界電子放出エミッターのフラクタル分布. プラズマ科学シンポジウム2005. 2005
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2004
- KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, KAZAMI, Daisuke, OKUDO, AKIO, 守吉佑介. New type of BN films with excellent electron field emission properties prepared by plasma-assisted laser. 第15回日本MRS学術シンポジウム. 2004
- KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, CHIKYOW, Toyohiro, KAZAMI, Daisuke, OKUDO, AKIO, TANAKA, Hironori, 守吉佑介. Self-organized electron field emitters made of sp3-bonded 5H-BN nanostructures : its synthesis and applications to device. 第15回日本MRS学術シンポジウム. 2004 招待講演
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- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/H2プラズマの数値解析. 第65回応用物理学会学術講演会. 2004
- 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマ複合化CVDによるsp3-5H-BN電界電子エミッター薄膜の合成と評価. 秋季第65回 応用物理学会学術講演会. 2004
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- 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 守吉祐介, 岡田 勝行. sp3結合性5H-BNプラズマ・レーザー自己造形エミッターによる電界電子放出. 2004年春季第51回応用物理学関係連合講演会. 2004
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマ特性の数値解析. 第51回応用物理学関係連合講演会. 2004
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2003
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- 岡田 勝行, 木本 浩司, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノ構造カーボンの合成と評価. 第64回応用物理学学術講演会. 2003
- 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 守吉佑介, 岡田 勝行. プラズマ支援レーザー蒸着法におけるsp3結合性BNの形成機構-2次元非線形モデル. 第64 回応用物理学会学術講演会. 2003
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- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 桑野 弘行, 守吉佑介, 神田 久生, 岡田 勝行. プラズマパケット支援レーザー蒸着法における非平衡相萌芽核・及び中空構造形成機構. 第50回応用物理学関係連合講演会. 2003
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2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 神田 久生, 桑野弘行, 守吉佑介, 岡田 勝行. プラズマパケット支援レーザー蒸着法:ナノ構造形成へのダストープラズマ相互作用の応用. 第三回ダストプラズマ研究会. 2002
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- 岡田 勝行. 低圧プラズマで作るダイヤモンドナノボール. 国際粉体工業展2002. 2002 招待講演
- 小松 正二郎, 神田 久生, 倉嶋 敬次, 桑野弘行, 守吉佑介, 岡田 勝行. 変調プラズマアシステドPLD法(MPA-PLD)によるsp3結合性5H-BNの225nm紫外発光. 第63回応用物理学会学術講演会. 2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 神田 久生, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行. プラズマ速度場制御レーザーアブレーション法によるBN系ナノ物質-成長過程と評価. 第63回応用物理学会学術講演会. 2002 招待講演
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 広帯域周波数低圧誘導結合プラズマの特性. 第63回応用物理学会学術講演会. 2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 神田 久生, 守吉佑介, 清水禎樹, 岡田 勝行, 三友 護. sp3結合性5H-BN:225nm - 新規紫外発光物質. 第二回半導体技術国際会議. 2002
- OKADA, Katsuyuki, KIMOTO, Koji, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Structural analysis on nanocrystalline diamond by electron energy loss spectroscopy. 8th International Conference on New Diamond Science and Technolo. 2002
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友 護. 結晶性BN皮膜に覆われたアモルファスホウ素ナノ粒子とナノバルーン. E-MRS spring meeting 2002. 2002
- 小松 正二郎, 岡田 勝行, 守吉佑介, 三友 護. HOMO-LUMO相互作用に基づく自由回転分子ジョイント;ナノテクノロジーのための理論的提案. E-MRS spring meeting 2002. 2002
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友 護. プラズマ支援レーザーアブレーション法によるBNナノカプセルの作成. E-MRS spring meeting 2002. 2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友 護. 新規プラズマ支援レーザーアブレーション法によるsp3結合性BN. E-MRS spring meeting 2002. 2002
- 小松 正二郎, 寒川誠二, 守吉佑介, 岡田 勝行. ハロゲン系プラズマ+シリコン表面系における吸着種の電子付着脱離. 春季応用物理学会. 2002
- 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/CO/H2プラズマの特性. 第49回応用物理学関係連合講演会. 2002
- 小松 正二郎, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護. HOMO-LUMO相互作用による分子ブロックの提案. 春季応用物理学会. 2002
- 山本洋生, 松本 精一郎, 岡田 勝行, 平栗健二. 低圧誘導結合型RFプラズマを用いるBF3からのc-BN膜合成. 2002年春季第49回応用物理学関係連合講演会. 2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護. レーザー・プラズマ同期法による高密度BNの生成. 春季応用物理学会. 2002
- 小松 正二郎, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護. レーザー・プラズマ同期法によるBN系中空構造ナノ物質の生成機構. 春季応用物理学会. 2002
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- KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, 守吉佑介, 三友護. Free-rotating molecular joint based on the HOMO-LUMO interaction of halogenated hydrocarbon with an anionic vacant site on hydro. 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第37回研究集会プラズマナ. 2002 招待講演
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護. プラズマ・アシステド・レーザーアブレーション法によるBNナノバルーンの合成. 学際的新領域プラズマに関する調査研究 研究会. 2002 招待講演
2001
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- 小松 正二郎, 岡田 勝行, 清水禎樹, 倉嶋 敬次, 守吉佑介, 三友護, 清水禎樹, 守吉佑介, 三友護. 中空構造ナノ物質およびcBNのプラズマ速度場制御レーザーアブレーションによる合成. プラズマインフォーマルセミナー. 2001 招待講演
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護, 清水禎樹, 守吉佑介, 三友護. 変調プラズマ同期レーザーアブレーションによる中空構造BNナノ物質の合成. 第6回レーザーアブレーション国際会議. 2001
- 岡田 勝行, 木本浩司, 小松 正二郎, 松本精一郎, 木本浩司, 松本精一郎. 電子エネルギー損失分光法による微結晶ダイヤモンドの構造解析. 第62回応用物理学会学術講演会. 2001
- 小松 正二郎, 寒川誠二, 守吉佑介, 岡田 勝行, 寒川誠二, 守吉佑介. 塩素系プラズマ/Si反応系の表面化学. 第62回 応用物理学会学術講演会. 2001
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護, 清水禎樹, 守吉佑介, 三友護. パルスレーザー・変調プラズマ同期法によるBNナノカプセルの生成. 第62回 応用物理学会学術講演会. 2001
- OKADA, Katsuyuki, 小松正二郎, 松本精一郎. Ion energy distributions and radical densities in a CH4/H2 inductively coupled plasma used for diamond deposition. 25th International Conference on Phenomena in Ionized Gases. 2001
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- OKADA, Katsuyuki, KIMOTO, Koji, 小松正二郎, 松本精一郎. Raman and EELS studies on nanocrystalline diamond prepared in a low pressure inductively coupled plasma. MRS Spring Meeting 2001. 2001
- 小松 正二郎, 清水禎樹, 守吉佑介, 岡田 勝行, 三友護, 清水禎樹, 守吉佑介, 三友護. BNナノバルーンのプラズマアシステドレーザーアブレーションによる形成. MRS spring meeting 2001. 2001
その他の文献 TSV
2015
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2013
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2011
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- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
2010
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- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of PSS-2009/SPP-26. (2009) 210-211
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-19. (2009) 1-4
2008
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- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. Proceedings of SPP-25. (2008) 317-318
2007
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- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ICPIG2007. (2007) 1566-1567
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公開特許出願 TSV
- 窒化ホウ素薄膜エミッターとその製造方法、及び該窒化ホウ素薄膜エミッターを使用する電子放出方法 (2008)
- 電界電子放出素子とその製造方法及びこの素子を使用した電子放出方法、並びに、電界電子放出素子を使用した発光・表示デバイスとその製造方法 (2008)
- 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するsp3結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途 (2007)
- 紫外域で発光するsp3結合型窒化ホウ素とその製造方法、及びこれを利用した機能性材料 (2006)
- 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するsp3結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途 (2005)
- 一般式;BNで示され、六方晶系5H型ないしは6H型多形構造を有し、紫外域で発光するsp3結合型窒化ホウ素とその製造方法、及びこれを利用した機能性材料 (2004)
- 燃焼炎を用いたセラミックスの簡易エッチング法 (1994)

