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岡田 勝行

岡田 勝行 (OKADA, Katsuyuki) 0000-0002-4230-6230

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論文 TSV

2008
  1. 岡田 勝行. ダイヤモンドの合成（静的超高圧、衝撃波、気相合成）. 無機材料必須300. (2008) 225-227
2007
  1. 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成と表面構造解析. 表面. 45 [9] (2007) 301-311
  2. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマＣＶＤによるナノクリスタルダイヤモンド合成. マテリアルインテグレーション. 20 [2] (2007) 75-81
  3. Katsuyuki Okada. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. Science and Technology of Advanced Materials. 8 [7-8] (2007) 624-634 10.1016/j.stam.2007.08.008 Open Access
2006
  1. H. Yamamoto, S. Matsumoto, K. Okada, J. Yu, K. Hirakuri. Synthesis of c-BN films by using a low-pressure inductively coupled BF3-He-N2-H2 plasma. Diamond and Related Materials. 15 [9] (2006) 1357-1361 10.1016/j.diamond.2005.10.007
  2. Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Fractal growth mechanism of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted pulsed-laser chemical vapor deposition. The Journal of Chemical Physics. 125 [8] (2006) 084701 10.1063/1.2336201
  3. Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Fractal growth of sp3-bonded 5H-BN micro cones by plasma-assisted laser chemical vapor deposition. Journal of Applied Physics. 99 [12] (2006) 123512 10.1063/1.2205612
  4. Shojiro Komatsu, Daisuke Kazami, Hironori Tanaka, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Boron nitride microfibers grown by plasma-assisted laser chemical vapor deposition without a metal catalyst. Applied Physics Letters. 88 [15] (2006) 151914 10.1063/1.2188381
2005
  1. 岡田 勝行, 石垣 隆正. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 金属. 75 [3] (2005) 201-205
  2. J. Yu, S. Matsumoto, K. Okada. Effects of rf bias and H2 flow rate on the growth of cubic boron nitride films by chemical vapor deposition. Applied Physics A. 80 [4] (2005) 777-781 10.1007/s00339-004-2744-5
2004
  1. Shojiro Komatsu, Akio Okudo, Daisuke Kazami, Dmitri Golberg, Yubao Li, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with very high current density at low . The Journal of Physical Chemistry B. 108 [17] (2004) 5182-5184 10.1021/jp0493475
  2. Shojiro Komatsu, Keiji Kurashima, Yoshiki Shimizu, Yusuke Moriyoshi, Masaharu Shiratani, Katsuyuki Okada. Condensation of sp3-bonded Boron Nitride through a Highly Nonequilibrium Fluid State. The Journal of Physical Chemistry B. 108 [1] (2004) 205-211 10.1021/jp0364452

書籍 TSV

会議録 TSV

2017
  1. OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2017. (2017) 283-285
2015
  1. OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
2013
  1. OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
2011
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-20. (2011) 9999
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
2010
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. Proceedings of SPP-27. (2010) 9999
2009
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2009. (2009) 115-118
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of PSS-2009/SPP-26. (2009) 210-211
  3. OKADA, Katsuyuki. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. Proceedings of 1st South Africa COE-SM & NIMS Workshop. (2009) 1-2
  4. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-19. (2009) 1-4
2008
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. Proceedings of SPP-25. (2008) 317-318
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of Nanotech 2008. (2008) 4-7
2007
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISSP 2007. (2007) 153-155
  2. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISPC-18. (2007) 9999
  3. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of SPP-24. (2007) 259-260
  4. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ICPIG2007. (2007) 1566-1567
2006
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Structural Analysis on Nanostructured Diamond/Carbon Prepared in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ICRP-6/SPP-23. (2006) 585-586
2005
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics. Proceedings of PSS-2005/SPP-22. (2005) 153-154
  2. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Study on Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISSP2005. (2005) 137-140
  3. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISPC-17. (2005) 1-5
2004
  1. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of ICNDST-9. (2004)
  2. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of the International Workshop on Plasma Nanotechnology. (2004)
  3. KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao　Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of ICNDST-9. (2004) 69-70
  4. KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao　Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of SPP-21. (2004) 30-31
  5. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Characteristics of Low Pressure Inductively Coupled CH4/CO/H2 Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of SPP-21. (2004) 124-125
  6. OKADA, Katsuyuki, KIMOTO, Koji, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Preparation of Nanocrystalline Diamond in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Transactions of the Materials Research Society of Japan. (2004) 3427-3430
  7. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of Inter. COE Forum Plasma Sci. Technol.. (2004) 159-160
  8. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of SPP-21. (2004) 320-321
  9. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its future Vision. (2004)

口頭発表 TSV

2019
  1. OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas(ICRP-10). 2019
2015
  1. OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2015
2013
  1. OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2013
2011
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISPC-20. 2011
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISSP 2011. 2011
2010
  1. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマＣＶＤによるカーボンナノチューブ 及びカーボンナノカプセルの合成 . 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会. 2010
  2. 岡田 勝行. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . DIAMOND 2010. 2010
  3. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマＣＶＤによるカーボンナノチューブ及び カーボンナノカプセルの合成 . 第８回ナノ学会. 2010
  4. OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. 第27回プラズマプロセシング研究会(SPP-27). 2010
2009
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISPC-19. 2009
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ISSP 2009. 2009
  3. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマによるナノ構造ダイヤモンド・ダイヤモンド状炭素・カーボンナノチューブの合成. 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009
  4. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会. 2009
  5. OKADA, Katsuyuki. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. 1st South Africa COE-SM & NIMS Workshop. 2009 招待講演
2008
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Nanotech 2008. 2008
  2. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマＣＶＤにより合成されたナノクリスタルダイヤモンドの粒子の表面構造解析. 第6回ナノ学会. 2008
  3. OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. 第25回プラズマプロセシング研究会. 2008
2007
  1. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. ナノ構造カーボン合成用低圧誘導結合VHFプラズマの診断. 第68回応用物理学会学術講演会. 2007
  2. OKADA, Katsuyuki. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 18th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-18). 2007
  3. OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. 28th International Conference on Phenomena in Ionaized Gases. 2007
  4. OKADA, Katsuyuki. Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 9th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. 2007
  5. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Electron energy distribution functions in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma used for nanocrystalline diamond deposition. International Conference on New Diamond and Nano Carbons. 2007
  6. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/H2プラズマにおける非弾性過程. 第54回応用物理学関係連合講演会. 2007
  7. 小松 正二郎, 風見大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 岡田 勝行. 新機能性ＢＮ薄膜のレーザープラズマ・同期ＣＶＤ. 5th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing. 2007 招待講演
  8. OKADA, Katsuyuki. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24). 2007
2006
  1. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. 16th International Toki Conference (ITC-16). 2006
  2. 田中 洋則, 小松 正二郎, 風見大介, 長田 貴弘, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマCVD法によるsp3-結合性5H-BNミクロコーンエミッターの低温成長. 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
  3. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合ＣＨ4／Ｈ2プラズマの電子エネルギー分布関数. 第67回応用物理学会学術講演会. 2006
  4. 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 第43回ＣＶＤ研究会. 2006 招待講演
  5. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎, ロバートカーピック. Electric Structure Study on Nanocrystalline Diamond Prepared by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. 22nd Symposium on Plasma Physics and Technology (SPPT-2006). 2006
  6. 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成. ナノ学会第４回大会. 2006
  7. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BNミクロコーン形成の光強度依存性. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
  8. 田中 洋則, 小松 正二郎, 風見 大介, 守吉 佑介, 岡田 勝行. sp3-結合性5H-BN薄膜成長速度のphotoluminescenceによるその場測定. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
  9. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎, ロバートカーピック. 低圧誘導結合プラズマCVDにより合成されたナノクリスタルダイヤモンドの電子構造評価. 第53回応用物理学関係連合講演会. 2006
  10. 岡田 勝行. プラズマＣＶＤの研究者から見たレーザーアブレーション研究への期待・要望. アブレーションプラズマに関する学理と応用の融合専門委員会. 2006 招待講演
  11. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 知京 豊裕, 岡田 勝行. 共同現象としての電界電子放出：プラズマ支援レーザーCVD法によるｓｐ３－結合性５H-BNミ. 第６回反応性プラズマ国際会議. 2006
  12. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治, 岡田 勝行. プラズマ支援レーザーCVDによって合成されたｓｐ３－結合性５H-BNミクロコーンエミッター. 第６回反応性プラズマ国際会議. 2006
  13. OKADA, Katsuyuki. Structural Analysis on Nanostructured Diamond/Carbon Prepared in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. ICRP-6/SPP-23. 2006
2005
  1. 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 小松 正二郎, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の成長：モルフォロジーの観点から. 第１６回日本ＭＲＳ学術シンポジウム　セッションＨ. 2005
  2. 田中 洋則, 風見 大介, 守吉 佑介, 小松 正二郎, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマＣＶＤ法によるＢＮナノファイバーの成長. 第１６回日本ＭＲＳ学術シンポジウム　セッションＨ. 2005
  3. 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 白谷正治. プラズマ支援レーザーＣＶＤによるsp3結合性5H-BNのフラクタル成長. 第１６回日本ＭＲＳ学術シンポジュウム　セッションＨ. 2005
  4. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の光励起成長機構. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
  5. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザ支援プラズマCVD法によるsp3結合性5H-BN薄膜の成長：モルフォロジーの観点から. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
  6. 小松 正二郎, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー支援プラズマCVD法によるBNナノファイバーの成長. 第66回応用物理学会学術講演会. 2005
  7. OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. 17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-17). 2005
  8. 岡田 勝行. プラズマCVDの基礎と応用. 第12回プラズマエレクトロニクスサマースクール. 2005 招待講演
  9. OKADA, Katsuyuki. Numerical Study on Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. The 8th International Symposium on Sputtering & Plasma Processin. 2005
  10. 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 守吉 佑介. Novel sp3-bonded BN films of 5H-polytypic crystal structure prepared by laser-assisted plasma CVD and their excellent electron f. CIP 2005 15th International Colloquium on PLASMA PROCESSES. 2005
  11. 小松 正二郎, 岡田 勝行, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 守吉 佑介. New type of BN films with excellent electron field emission properties prepared by plasma-assisted laser CVD. ICONO/LAT2005. 2005 招待講演
  12. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 石垣 隆正. Growth of nanostructured diamond in a low pressure inductively coupled plasma and the plasma characteristics. ICNDST-10. 2005
  13. 岡田 勝行, 小松 正二郎. Growth and Characterization of Nanostructured Diamond and Diamond-Like Carbon in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. 2005 MRS Spring Meeting. 2005
  14. 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマ複合化CVDによるsp3-5H-BN電界電子エミッターフラクタル分布. 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005
  15. 小松 正二郎, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 田中 洋則, 知京 豊裕, 守吉 佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマCVDによるsp3結合性5H-BN電界電子放出型発光素子の試作と特性. 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005
  16. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics. PSS-2005/SPP-22. 2005
  17. 小松 正二郎, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 田中 洋則, 守吉 佑介, 岡田 勝行. パルスレーザー支援プラズマCVD法によるsp3-結合性5H-BN薄膜における電界電子放出エミッターのフラクタル分布. プラズマ科学シンポジウム2005. 2005
  18. 小松 正二郎, 風見 大介, 奥戸 昭雄, 田中 洋則, 守吉 佑介, 知京 豊裕, 岡田 勝行. sp3-結合性5H-BN薄膜・自己造形性エミッターによる大気圧ー電界電子放出. プラズマ科学シンポジウム2005. 2005
2004
  1. KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, KAZAMI, Daisuke, OKUDO, AKIO, 守吉佑介. New type of BN films with excellent electron field emission properties prepared by plasma-assisted laser. 第15回日本MRS学術シンポジウム. 2004
  2. KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, CHIKYOW, Toyohiro, KAZAMI, Daisuke, OKUDO, AKIO, TANAKA, Hironori, 守吉佑介. Self-organized electron field emitters made of sp3-bonded 5H-BN nanostructures : its synthesis and applications to device. 第15回日本MRS学術シンポジウム. 2004 招待講演
  3. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合VHFプラズマCVDによるナノ構造カーボンの合成. 15th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Car. 2004
  4. 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉佑介, 岡田 勝行. パルスUVレーザー・変調プラズマ同期CVDにおけるsp3-結合性5H-BNの形態形成. 第65回応用物理学会学術講演会. 2004
  5. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. 低圧誘導結合CH4/H2プラズマの数値解析. 第65回応用物理学会学術講演会. 2004
  6. 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 田中 洋則, 守吉佑介, 岡田 勝行. レーザー・プラズマ複合化CVDによるsp3-5H-BN電界電子エミッター薄膜の合成と評価. 秋季第65回　応用物理学会学術講演会. 2004
  7. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Numerical simulation of inductively coupled plasma sources for nanostructured carbon deposition. APCPST-7(7th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Techn. 2004
  8. OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. International COE Forum on Plasma Science & Technology. 2004
  9. 小松 正二郎, 奥戸 昭雄, 風見 大介, 守吉祐介, 岡田 勝行. sp3結合性5H-BNプラズマ・レーザー自己造形エミッターによる電界電子放出. 2004年春季第51回応用物理学関係連合講演会. 2004
  10. 岡田 勝行, 小松 正二郎, 松本 精一郎. ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマ特性の数値解析. 第51回応用物理学関係連合講演会. 2004
  11. 岡田 勝行, 木本 浩司, 小松 正二郎, 松本 精一郎. Spectroscopic characterizations of nanostructured carbon prepared in a low pressure inductively coupled plasma. ICNDST-9. 2004
  12. OKADA, Katsuyuki. Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. プラズマナノテクノロジーとその将来ビジョンに関する国際ワークショ. 2004
  13. OKADA, Katsuyuki. Characteristics of Low Pressure Inductively Coupled CH4/CO/H2 Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. 第21回プラズマプロセシング研究会. 2004

その他の文献 TSV

2015
  1. OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
2013
  1. OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
2011
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-20. (2011) 9999
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
2010
  1. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノカーボンの合成. ケミカルエンジニアリング. 55 [12] (2010) 929-933
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. Proceedings of SPP-27. (2010) 9999
2009
  1. OKADA, Katsuyuki. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Nanocrystalline Diamond. Proceedings of 1st South Africa COE-SM & NIMS Workshop. (2009) 1-2
  2. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of PSS-2009/SPP-26. (2009) 210-211
  3. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2009. (2009) 115-118
  4. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Carbon Nanotubes, and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISPC-19. (2009) 1-4
2008
  1. OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanostructured Diamond, Diamond-Like Carbon, and Carbon Nanotubes in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of Nanotech 2008. (2008) 4-7
  2. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma. Proceedings of SPP-25. (2008) 317-318
2007
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISSP 2007. (2007) 153-155
  2. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ICPIG2007. (2007) 1566-1567
  3. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of SPP-24. (2007) 259-260
  4. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma. Proceedings of ISPC-18. (2007) 9999
2006
  1. 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマによるナノクリスタルダイヤモンド合成. 物質研究所研究報告書第12号. (2006) 20-24
  2. 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 第43回CVD研究会テキスト. (2006) 1-6
  3. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Structural Analysis on Nanostructured Diamond/Carbon Prepared in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ICRP-6/SPP-23. (2006) 585-586
2005
  1. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISPC-17. (2005) 1-5
  2. 岡田 勝行. プラズマＣＶＤの基礎と応用. 第12回プラズマエレクトロニクスサマースクールテキスト. 1 [1] (2005) 92-104
  3. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics. Proceedings of PSS-2005/SPP-22. (2005) 153-154
  4. 岡田 勝行. 第3回日本ースウェーデンナノバイオテクノロジーワークショップ開催報告. Japan Nanonet Bulletin. [5] (2005) 3
  5. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, ISHIGAKI, Takamasa. Numerical Study on Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of ISSP2005. (2005) 137-140
  6. 岡田 勝行. ナノテクノロジー関連プロセシングプラズマ分野の研究動向. Japan Nanonet Bulletin. 2005 [1] (2005) 1-2
  7. 岡田 勝行. 第3回ナノテクノロジー総合シンポジウム(JAPAN NANO 2005)開催報告. Japan Nanonet Bulletin. 2005 [3] (2005) 1
2004
  1. 池袋一典, 平原奎治郎, 岡田 勝行, 小森 和範. ナノバイオ研究動向調査報告. ナノバイオ研究動向調査報告書（ナノテク支援センター）. (2004)
  2. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of SPP-21. (2004) 320-321
  3. 平原奎治郎, 小森 和範, 岡田 勝行. ナノテクノロジー技術動向調査報告書. ナノテクノロジー技術動向調査報告書（ナノテク支援センター）. (2004)
  4. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Characteristics of Low Pressure Inductively Coupled CH4/CO/H2 Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of SPP-21. (2004) 124-125
  5. 平原奎治郎, 小森 和範, 岡田 勝行. ナノテクノロジー分野別動向調査. ナノテクノロジー分野別動向調査（ナノテク支援センター）. (2004)
  6. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of ICNDST-9. (2004)
  7. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of the International Workshop on Plasma Nanotechnology. (2004)
  8. KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao　Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of SPP-21. (2004) 30-31
  9. KOMATSU, Shojiro, KURASHIMA, Keiji, 清水禎樹, 守吉祐介, OKADA, Katsuyuki. Condensation of sp3-bonded BN through highly-nonequilibrium fluid state. Proceedings of International Workshop on Plasma Nano-Technology and Its future Vision. (2004)
  10. 岡田 勝行. 飛躍する磁性体デバイスの作製プロセスの現状と課題. 応用物理. 73 [6] (2004) 819-820
  11. KOMATSU, Shojiro, OKUDO, AKIO, KAZAMI, Daisuke, GOLBERG, Dmitri, Yubao　Li, 守吉祐介, 白谷正治, OKADA, Katsuyuki. Electron field emission from self-organized micro-emitters of sp3-bonded 5H boron nitride with exceedingly high current density . Proceedings of ICNDST-9. (2004) 69-70
  12. OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of Inter. COE Forum Plasma Sci. Technol.. (2004) 159-160

公開特許出願 TSV

  1. 電界電子放出素子とその製造方法及びこの素子を使用した電子放出方法、並びに、電界電子放出素子を使用した発光・表示デバイスとその製造方法 (2008)
  2. 窒化ホウ素薄膜エミッターとその製造方法、及び該窒化ホウ素薄膜エミッターを使用する電子放出方法 (2008)
  3. 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するｓｐ３結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途 (2007)
  4. 紫外域で発光するｓｐ３結合型窒化ホウ素とその製造方法、及びこれを利用した機能性材料 (2006)
  5. 電界電子放出特性を利する自己造形的表面形状を有するｓｐ３結合性窒化ホウ素薄膜とその製造方法及びその用途 (2005)
  6. 一般式；ＢＮで示され、六方晶系５Ｈ型ないしは６Ｈ型多形構造を有し、紫外域で発光するｓｐ３結合型窒化ホウ素とその製造方法、及びこれを利用した機能性材料 (2004)
  7. 燃焼炎を用いたセラミックスの簡易エッチング法 (1994)

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