金属のホウ化物、炭化物、窒化物の表面構造や反応性の研究。表面での吸着過程とその結果としてのエピタキシャル成長を利用した結晶性の薄膜成長。

反応性スパッタリングを用いてサファイア基板上に成長させたMgドープ窒化クロム(CrN)エピタキシャル薄膜のX線回折パターン、と硬X線光電子分光による分析データおよび反射高速電子回折パターン。表面は凸凹があるがエピタキシャル膜であること、またMgが確かに膜中に取り込まれていることが示された。Mgをドープすることによってp型のCrN膜が得られる。