Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition
(ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマの診断)
プラズマナノテクノロジーとその将来ビジョンに関する国際ワークショ. 2004年02月04日-2004年02月06日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:26:29 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:26:29 +0900