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- 305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド、低圧誘導結合プラズマ、ＣＶＤ
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- 守吉佑介, KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, 加茂睦和, 瀬高信雄. The Microstructure of a Diamond Film prepared with microwave Plasma CVD. Thin Solid Films. (1990)
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, 守吉佑介. Combustion-flame Deposition of Diamond. Journal of Chemical Vapor Deposition. (1992) 157-180
- 岡田勝行. 誘導結合型プラズマのダイヤモンド合成への応用. 化学と工業. (1995)
会議録
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2017. (2017) 283-285
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
口頭発表
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2015
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas(ICRP-10). 2019
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2013
その他の文献
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
所属学会
応用物理学会
電子・光機能材料研究センター
タイトル
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルダイヤモンドの合成
キーワード
ナノクリスタルダイヤモンド，低圧誘導結合プラズマ，CVD
概要
プラズマCVDにより合成されるダイヤモンド薄膜において、nmオーダーに制御された超微小結晶を精緻に合成し、３次元構造化することにより、超平担性、超硬度性、超潤滑性、また新たな化学的、電気的特性の発現が期待されています。
新規性・独創性
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルエンジニアリングを確立し（図１）、優れたトライボロジー特性（超平坦性、超硬度性、超潤滑性）を有する、nmオーダーに制御された超微小結晶のナノクリスタルダイヤモンド薄膜の合成を目指します。
内容
低温、高密度の特性を有する低圧誘導結合プラズマを用いて、ナノクリスタルダイヤモンド粒子を合成し、結晶粒界のSP2/SP3結合の構造評価を行い（図２）、SP2結合が結晶粒界に約１nmの幅で局在していることを確認しました（図３）。さらに部分的ながら、粒径約５nmの”ダイヤモンドナノボール”の合成に成功しました（図４）。
まとめ
● nmオーダーで制御された結晶表面の超平滑性、超潤滑性（ゼロ摩擦係数）による省エネルギー化
● 量子サイズ効果の発現による紫外線発光材料
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