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研究内容
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ナノクリスタルダイヤモンド、低圧誘導結合プラズマ、ＣＶＤ
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノカーボンの合成. ケミカルエンジニアリング. 55 [12] (2010) 929-933
- 岡田 勝行. ダイヤモンドの合成（静的超高圧、衝撃波、気相合成）. 無機材料必須300. (2008) 225-227
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成と表面構造解析. 表面. 45 [9] (2007) 301-311
書籍
- OKADA, Katsuyuki. Plasma chemical vapor deposition of nanocrystalline diamond. Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology. 2003 , 1-12
会議録
- OKADA, Katsuyuki, 木本浩司, KOMATSU, Shojiro, 松本精一郎. Raman and EELS studies on nanocrystalline diamond prepared in a low pressure inductively coupled plasma. Mat. Res. Soc. Symp. Proc.. 2001, -
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition. Proceedings of Inter. COE Forum Plasma Sci. Technol.. 2004, 159-160
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, 松本精一郎. Ion energy distributions and radical densities in a CH4/H2 inductively coupled plasma used for diamond deposition. Proc. 25th ICPIG. , -
口頭発表
- 岡田 勝行. プラズマＣＶＤの研究者から見たレーザーアブレーション研究への期待・要望. アブレーションプラズマに関する学理と応用の融合専門委員会. 2006
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro, Robert Carpick. Electric Structure Study on Nanocrystalline Diamond Prepared by Low Pressure Inductively Coupled Plasma CVD. 22nd Symposium on Plasma Physics and Technology (SPPT-2006). 2006
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマＣＶＤによるカーボンナノチューブ 及びカーボンナノカプセルの合成 . 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会. 2010
特許
- 特許第1791859号 プラズマを用いるダイヤモンドの合成法 (1993)
- 特許第1991518号 燃焼炎を用いたセラミックスの簡易エッチング法 (1995)
- 特許第4608692号 大気中電子放出特性を有する電子放出素子とその製造方法、および、この素子を使用した電子放出方法 (2010)
第二期開発予定
第二期開発予定