- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド、低圧誘導結合プラズマ、CVD
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノカーボンの合成. ケミカルエンジニアリング. 55 [12] (2010) 929-933
- 岡田 勝行. ダイヤモンドの合成(静的超高圧、衝撃波、気相合成). 無機材料必須300. (2008) 225-227
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンド粒子の合成と表面構造解析. 表面. 45 [9] (2007) 301-311
会議録
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2017. 2017, 283-285
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. 2015, 194-197
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. 2013, 112-114
口頭発表
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas(ICRP-10). 2019
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるカーボンナノチューブ 及びカーボンナノカプセルの合成 . 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会. 2010
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . DIAMOND 2010. 2010
その他の文献
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマCVDによるナノカーボンの合成. ケミカルエンジニアリング. 55 [12] (2010) 929-933
- 岡田 勝行. 低圧高密度プラズマプロセスによるナノクリスタルダイヤモンドコーティング. 第43回CVD研究会テキスト. (2006) 1-6
- 岡田 勝行. 低圧誘導結合プラズマによるナノクリスタルダイヤモンド合成. 物質研究所研究報告書第12号. (2006) 20-24
特許
- 特許第1791859号 プラズマを用いるダイヤモンドの合成法 (1993)
- 特許第1991518号 燃焼炎を用いたセラミックスの簡易エッチング法 (1995)
- 特許第4608692号 大気中電子放出特性を有する電子放出素子とその製造方法、および、この素子を使用した電子放出方法 (2010)