HOME > Profile > OKADA, Katsuyuki
- Address
- 305-0047 1-2-1 Sengen Tsukuba Ibaraki JAPAN [Access]
Research
- Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド、低圧誘導結合プラズマ、CVD
PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.
Research papers
- 守吉佑介, KOMATSU, Shojiro, OKADA, Katsuyuki, 加茂睦和, 瀬高信雄. The Microstructure of a Diamond Film prepared with microwave Plasma CVD. Thin Solid Films. (1990)
- OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, 守吉佑介. Combustion-flame Deposition of Diamond. Journal of Chemical Vapor Deposition. (1992) 157-180
- 岡田勝行. 誘導結合型プラズマのダイヤモンド合成への応用. 化学と工業. (1995)
Proceedings
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2017. (2017) 283-285
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
Presentations
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2015
- OKADA, Katsuyuki. Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructued Carbon Deposition. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases(XXXIV ICPIG) & 10th International Conference on Reactive Plasmas(ICRP-10). 2019
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . The 12th International Symposium on Sputtering & Plasma Process. 2013
Misc
- OKADA, Katsuyuki. Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanostructured Carbon Deposition. Proceedings of ISSP 2015. (2015) 194-197
- OKADA, Katsuyuki. Simultaneous Growth of Carbon Nanotubes and Carbon Nanocapsules in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma . Proceedings of ISSP 2013. (2013) 112-114
- OKADA, Katsuyuki. Growth of Nanocarbons in a Low Pressure Inductively Coupled Plasma. Proceedings of ISSP 2011. (2011) 333-336
Published patent applications
Society memberships
応用物理学会
Research Center for Electronic and Optical Materials
Title
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルダイヤモンドの合成
Keywords
ナノクリスタルダイヤモンド,低圧誘導結合プラズマ,CVD
Overview
プラズマCVDにより合成されるダイヤモンド薄膜において、nmオーダーに制御された超微小結晶を精緻に合成し、3次元構造化することにより、超平担性、超硬度性、超潤滑性、また新たな化学的、電気的特性の発現が期待されています。
Novelty and originality
低圧誘導結合プラズマ CVDによるナノクリスタルエンジニアリングを確立し(図1)、優れたトライボロジー特性(超平坦性、超硬度性、超潤滑性)を有する、nmオーダーに制御された超微小結晶のナノクリスタルダイヤモンド薄膜の合成を目指します。
Details
Summary
● nmオーダーで制御された結晶表面の超平滑性、超潤滑性(ゼロ摩擦係数)による省エネルギー化
● 量子サイズ効果の発現による紫外線発光材料
この機能は所内限定です。
この機能は所内限定です。