Langmuir Probe Measurements in a Broad-Band Frequency Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanostructured Carbon Dep
(ナノ構造カーボン膜作製用広帯域周波数低圧誘導結合プラズマのラングミュアプローブ計測)
第10回先端材料国際シンポジウム（ISAM2003）. 2003年03月10日-2003年03月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:22:57 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:22:57 +0900