低圧誘導結合プラズマCVDによるナノ構造カーボンの合成と評価
(Preparation and characterization of nanostructured carbon by low pressure ICP-CVD)
第64回応用物理学学術講演会. 2003.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:31:10 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:46:18 +0900