低圧誘導結合ＣＨ4／Ｈ2プラズマの電子エネルギー分布関数
(Electron energy distribution functions in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma)
第67回応用物理学会学術講演会. 2006年08月29日-2006年09月01日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:23:52 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:41:04 +0900