Synthesis of c-BN films by using a low-pressure inductively coupled BF3-He-N2-H2 plasma | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

HOME > 論文 > 書誌詳細

Synthesis of c-BN films by using a low-pressure inductively coupled BF3-He-N2-H2 plasma
(低圧誘導結合プラズマによるBF3-He-N2-H2 ガスからの立方晶窒化ホウ素膜合成)

H. Yamamoto, S. Matsumoto, K. Okada, J. Yu, K. Hirakuri.

Diamond and Related Materials 15 [9] 1357-1361. 2006.

https://doi.org/10.1016/j.diamond.2005.10.007

NIMS著者

岡田勝行

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 15:01:47 +0900 更新時刻: 2026-04-28 06:34:01 +0900

▲ページトップへ移動