Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition
International COE Forum on Plasma Science & Technology. 2004年04月05日-2004年04月07日.
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作成時刻: 2022-09-05 11:32:36 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:32:36 +0900