Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled Plasma Sources for Nanocrystalline Diamond Deposition
17th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-17). 2005年08月07日-2005年08月12日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:42:41 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:42:41 +0900