Electron energy distribution functions in a low pressure inductively coupled CH4/H2 plasma used for nanocrystalline diamond deposition
International Conference on New Diamond and Nano Carbons. 2007年05月28日-2007年05月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:40:12 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:54:45 +0900