Ion energy distributions in a low pressure inductively coupled plasma used for nanocrystalline diamond deposition
(ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマのイオンエネルギー分布)
15th International Conference on Plasma Chemistry. 2001年07月09日-2001年07月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:08:06 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:08:06 +0900