Growth of Nanostructured Diamond in a Low Pressure InductivelyCoupled Plasma and the Plasma Characteristics
(低圧誘導結合プラズマにおけるナノ構造ダイヤモンドの成長とプラズマ特性)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:46:59 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:46:59 +0900