Inelastic Processes in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma
(低圧誘導結合CH4/H2プラズマにおける非弾性過程)
第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24). 2007年01月29日-2007年01月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:53:43 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:53:43 +0900