低圧誘導結合CH4/H2プラズマの数値解析
(Numerical Simulation of Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma)
第65回応用物理学会学術講演会. 2004年09月01日-2004年09月04日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:42:14 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:03:09 +0900