Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition
(ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマの診断)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 00:29:20 +0900 更新時刻: 2017-03-17 02:31:27 +0900