Electron Kinetics and Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma
9th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. 2007年06月06日-2007年06月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:58:02 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:58:02 +0900