新機能性ＢＮ薄膜のレーザープラズマ・同期ＣＶＤ
(Laser-plasma synchronous CVD of new functional BN films)
5th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing. 2007年03月07日-2007年03月09日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:21:09 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:41:24 +0900