Diagnostics of Low Pressure Inductively Coupled VHF Plasma Used for Nanostructured Carbon Deposition
28th International Conference on Phenomena in Ionaized Gases. 2007年07月15日-2007年07月20日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:58:39 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:58:39 +0900