(Electron Energy Distribution Functions in a Low Pressure Inductively Coupled CH4/H2 Plasma)
16th International Toki Conference (ITC-16). 2006年12月05日-2006年12月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:44:12 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:45:38 +0900