ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマ特性の数値解析
(Simulation of low pressure inductively coupled plasma used for nanocrystalline diamond deposition)
第51回応用物理学関係連合講演会. 2004年03月28日-2004年03月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:22:19 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:57:28 +0900