ハロゲン系プラズマ＋シリコン表面系における吸着種の電子付着脱離
(Spontaneous desorption of chemisorbed ﾐSi(halgen)3 on Si(111) by electron(s) adsorption)
春季応用物理学会. 2002年03月27日-2002年03月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:31:21 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:22:16 +0900