ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマの診断 | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Plasma Diagnostics of a Low Pressure Inductively Coupled Plasma Used for Nanocrystalline Diamond Deposition
(ナノクリスタルダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマの診断)

OKADA, Katsuyuki, KOMATSU, Shojiro, MATSUMOTO, Seiichiro.

Proceedings of the International Workshop on Plasma Nanotechnology . 2004.

NIMS著者

岡田勝行

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2022-09-05 11:27:31 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:27:31 +0900

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